EV Group步進重複奈米壓印微影系統突破生產微縮化 (2021.06.10)

相較於昔日步進重複奈米壓印微影（NIL）的進一步開發與生產微縮化的需求，常被受限於較大面積上精準母模的可用性。晶圓接合暨微影技術設備商EV Group（EVG）推出次世代步進重複NIL系統EVG770 NT。EVG770 NT可以為擴增實境…